luciz
2023-09-15 12:20:26
感(gan)謝分享
@飯否：
第四代(dai)(dai)同步(bu)輻射光源就特(te)么是(shi)為(wei) EUV光刻而生(sheng)的!1，同步(bu)輻射光源目前已經在建的是(shi)第四代(dai)(dai)。2，四代(dai)(dai)同步(bu)輻射光源的特(te)點是(shi): -占地小(當然還是(shi)很大(da)的，足球場);-輸(shu)入能(neng)量大(da)為(wei)減少;-輸(shu)出光源亮(liang)度更大(da)(四代(dai)(dai)完全達到光刻需求);-頻率可以(yi)精準控制，可
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