湘桐木華
全梭哈的龍頭選手
2023-09-15 23:14:10
@柴爾德：
省流總結(jie)：光(guang)(guang)刻(ke)(ke)(ke)機里發生了？1.光(guang)(guang)掩(yan)模、透鏡(jing)組(zu)和(he)硅(gui)片工(gong)件臺會精密對準和(he)調平2.光(guang)(guang)源放(fang)光(guang)(guang)3.移動(dong)工(gong)件臺? 光(guang)(guang)刻(ke)(ke)(ke)為IC制造核心工(gong)藝，光(guang)(guang)刻(ke)(ke)(ke)技術的(de)(de)演(yan)進成就了摩爾定律。光(guang)(guang)刻(ke)(ke)(ke)工(gong)藝占IC制造1/2的(de)(de)時間+1/3的(de)(de)成本，在(zai)瑞利公式：???? = ??1??/???? 的(de)(de)指導(dao)下，人類在(zai)縮短波長??，增大數值孔徑(jing)NA，降
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