蘋果034
2023-10-31 01:54:02
不錯，謝謝分享！
@掘金尋犇：
本發明提供了一種光刻投影物鏡，包括沿光軸順次排列的第一鏡組、第二鏡組、第三鏡組、第四鏡組和第五鏡組，所述第一鏡組的光焦度第二鏡組的光焦度第三鏡組的光焦度第四鏡組的光焦度和第五鏡組的光焦度滿足在滿足高曝光分辨率的基礎上可以減少透鏡數量和非球面鏡的數量，降低光刻投影物鏡的設計成本及制造周期，提高產品市場
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