非菜盒
蜜汁自信的散戶
2023-09-16 01:00:38
感謝(xie)
@柴爾德：
省流總(zong)結：光刻(ke)(ke)機里發生(sheng)了？1.光掩(yan)模、透(tou)鏡組和(he)硅片工件臺會精密對準和(he)調平(ping)2.光源(yuan)放光3.移動工件臺? 光刻(ke)(ke)為(wei)IC制(zhi)造核(he)心工藝(yi)，光刻(ke)(ke)技術的(de)演進成(cheng)就了摩爾定律。光刻(ke)(ke)工藝(yi)占IC制(zhi)造1/2的(de)時間+1/3的(de)成(cheng)本，在瑞利(li)公式(shi)：???? = ??1??/???? 的(de)指導下，人(ren)類在縮短波長??，增大數值孔(kong)徑NA，降
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